Talyrond 595H系列 高精度測量儀
Talyrond 595H的所有軸都經(jīng)過精密加工，加強了軟件自動更正功能，讓TR595H擁有了的直線度和圓度精確度。調(diào)心和調(diào)平操作臺配有高分辨率電機，進一步加強了精度和全自動設(shè)置目標(biāo)功能。
該系統(tǒng)配有的Talymin 5傳感器測量能力能夠達到納米級別，同時自動橫臂機制能夠提供無以倫比的多功能化確保能夠測量難以達到的部分。TR595H配置的主動抗振控制托架確保了不受外界環(huán)境影響的測量環(huán)境，保證測量環(huán)境接近生產(chǎn)過程。
- 全自動軸臂橫向和縱向機制
- 軸臂、立柱和主軸校準(zhǔn)自動校準(zhǔn)
- 自動傳感器校準(zhǔn)
- 高精度空氣軸承主軸精度+/- 0.01 um
- 傳感器分辨率0.3 nm
- 主動隔震和環(huán)境隔離系統(tǒng)
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