神马电影_午夜神马_午夜电影_神马午夜_欧美日韩中文字幕_欧美日韩在线播放_欧美日韩精品_中文字幕观看_欧美日韩中文字幕_欧美中文字幕视频_欧美日韩精品_欧美成人在线视频_欧美乱人伦中文字幕在线不卡_日韩免费高清专区_久久久久亚州?Ⅴ无码专区首_精品国偷自产在线不卡短视频_尹人久久大香找蕉综合影院中文字幕免费在线观看_欧美激情综合色综合啪啪五月

您好，歡迎來到歐亞貿(mào)易網(wǎng)！請(qǐng) |免費(fèi)注冊(cè)

產(chǎn)品展廳本站服務(wù)收藏該商鋪

北京瑞科中儀科技有限公司

免費(fèi)會(huì)員
手機(jī)逛
010-82900840
北京瑞科中儀科技有限公司
當(dāng)前位置：北京瑞科中儀科技有限公司>>刻蝕機(jī)>> 原子層蝕刻設(shè)備

原子層蝕刻設(shè)備

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 品牌：
  • 產(chǎn)品類別：實(shí)驗(yàn)儀器
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時(shí)間：2025-02-09 12:21:18
  • 瀏覽次數(shù)：16
收藏
舉報(bào)

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 歐亞貿(mào)易網(wǎng)

北京瑞科中儀科技有限公司

其他

  • 經(jīng)營(yíng)模式：其他
  • 商鋪產(chǎn)品：387條
  • 所在地區(qū)：
  • 注冊(cè)時(shí)間：2015-05-12
  • 最近登錄：2022-10-24
  • 聯(lián)系人：
  • 電    話：010-82900840
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：原子層蝕刻設(shè)備是一種的蝕刻技術(shù)，可精準(zhǔn)的控制其蝕刻深度。隨著元件尺寸的進(jìn)一步減小，需要進(jìn)一步的使用ALE才能達(dá)到其所需的精度。

詳情介紹

原子層蝕刻設(shè)備介紹：

原子層蝕刻設(shè)備ALE）是一種的蝕刻技術(shù)，可精準(zhǔn)的控制其蝕刻深度。隨著元件尺寸的進(jìn)一步減小，需要進(jìn)一步的使用ALE才能達(dá)到其所需的精度。

這就引起了人們對(duì)被稱為原子級(jí)蝕刻（ALE）的技術(shù)的關(guān)注，該技術(shù)克服了原子級(jí)常規(guī)蝕刻的局限性。基於電漿的原子層蝕刻是氣體以定量注入和離子轟擊的周期性蝕刻過程，並具有去除單個(gè)薄膜層、極低的損壞率等優(yōu)點(diǎn)。

SYSKEY的系統(tǒng)可以精準(zhǔn)的控制製程氣體與電漿製程，並提供高精準(zhǔn)度的薄膜蝕刻。

image.pngimage.png

原子層蝕刻設(shè)備參數(shù)：

應(yīng)用領(lǐng)域腔體

  • 矽化合物蝕刻SiO2、SiN4)。

  • 微機(jī)電系統(tǒng)。

  • 金屬、矽與光阻蝕刻。

  • 陽極電鍍處理鋁腔。

  • 通過使用水冷系統(tǒng)、加熱器或加熱包來控制腔體溫度。

配置和優(yōu)點(diǎn)選件

  • 客製化的基板尺寸，直徑可達(dá)12吋。

  • 蝕刻系統(tǒng)中，ICP、RIE、ALE與DRIE可在同一腔內(nèi)。

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3％。

  • 具有高均勻氣體分佈的質(zhì)量流量控制器。

  • 穩(wěn)定的溫度控制，將載臺(tái)加熱至200°C或冷卻至-20°C。

  • 使用Tornado ICP線圈，ICP電漿高達(dá)2000W，可增強(qiáng)低溫下的沉積。

  • 由於使用低能量進(jìn)行蝕刻，其損傷率也是較低的。

  • 基板具有氦氣冷卻之功能，均勻的控制溫度。

  • 均勻的氣體擴(kuò)散，具有優(yōu)化的氣體分佈。

  • 靜電吸盤。

  • 蝕刻終點(diǎn)偵測(cè)（OES，激光）相容性。

  • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起。






上一篇： 奧林巴斯CX33價(jià)格
下一篇： 感應(yīng)耦合電漿蝕刻
同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

在線詢價(jià)

X

已經(jīng)是會(huì)員？點(diǎn)擊這里 [登錄] 直接獲取聯(lián)系方式

會(huì)員登錄

X

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏！
標(biāo)簽：
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用：

提示

X
您的留言已提交成功！我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
人妻巨大乳一二三区| 无码人妻丰满熟妇啪啪欧美| 国产日韩一区二区三免费高清| 毛片无码一区二区三区A片视频| 各类老熟女老熟妇视频在线观看| 6080YYY午夜理论AA片| 亚洲欧美国产精品久久久久久久| 久久精品一区二区免费播放|