| 測量范圍 | X方向 | 100mm |
| Z1（傳感器） | 20mm | |
| 高度 | 300mm | |
| *小內孔 | 30mm (換小測針可測更小內徑) | |
| 測量范圍 （粗造度） | X軸 | Ra： 0.005 um ~ 16.00 um |
| Z1軸 | ±20um，±40um，±80um | |
| 取樣長度L | 0.25 ， 0.80 ， 2.50，自動 | |
| 評定長度 | 1L~5L（可選，L為取樣長度） | |
| 測量行程長度 | 3L~7L（可選，L為取樣長度） | |
| 測量精度 | X方向 （L=X軸移動導軌距離） | ±（1+2L/100）μm |
| Z方向 （H=Z軸方向測量高度） | ±（1.8+3H/100）μm | |
| 示值精度（粗造度） | 0.001um | |
| 示值誤差（粗造度） | ≤±7% | |
| 傳感器 | 類型 | 電感傳感器 |
| 分辨率 | 0.02μm | |
| 產地 | 進口 | |
| X軸 | 直線度 | 0.20μm /60mm |
| 分辨率 | 0.5μm | |
| 產地 | 進口 | |
| 爬坡角度 | 上升77度 下降88度 | |
| 測針 | 針尖形狀（輪廓） | 單切面、錐形 |
| 針尖角度（粗糙度） | 90度 | |
| 測量速度（輪廓） | 0.02mm至4.0mm/s | |
| 速度（粗造度） | *大驅動行程長度 | 17.5mm / 0.71 inch |
| *小驅動行程長度 | 1.3mm / 0.052 inch | |
| 測量方式 | 傳感器移動 | |
| 工作壓力 | 0.35～0.43Mpa | |
| 氣源壓力 | 0.45～0.80Mpa | |
| 氣源流量 | ≥0.2 m3/min | |
| 電源 | AC 220V±10% 50Hz | |
| 環境要求 | 溫度：10～30℃；相對濕度：＜85% | |
機械部分 大理石工作臺面及主機儀器架 氣浮導軌系統 方立柱系統 傳感器系統 進口光柵尺系統 調整工作臺 水平調整系統 回轉及角度調試系統 平口裝夾系統 校正標準件一套 測針與測桿 Φ2*18mm 斜測針 2根 Φ2*18mm 尖測針 2根 Φ5*120mm 測桿 1根 空氣過濾系統 電器部分 電器控制系統 工業控制計算機 工控主板 NORCO950 工控底板 NORCO PBP-14P4 CPU E5500 金士頓 2G 三代 硬盤SEAGATE 500G 17″普屏液晶 基于win XP系統下MMD測量軟件 HP噴墨打印機 電腦桌
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