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進(jìn)品阻抗分析儀E4991B產(chǎn)品特點：

· 3 種頻率選件：1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz，可升級

· ±0.65% 基本精度和 120 m? 至 52 k? 阻抗范圍（10% 測量精度范圍）

· 測量參數(shù)：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc¹、Idc¹（1. 需要選件 001）

· 內(nèi)置直流偏置（選件 001）：0 V 至 ±40 V，0 A 至 ±100 mA

· 10.4 英寸彩色 LCD 觸摸屏可顯示 4 個通道和 4 條跡線

· 數(shù)據(jù)分析功能：等效電路分析、極限線測試

· 介電/磁性材料測量（選件 002）：|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)

· 提供溫度特征測量（選件 007）和可靠的晶圓上測量（選件 010）