超純水設備
高純水：既將水中的導電介質幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于10～18.3MΩcm極限值。超純水,是1般純水設備很難達到的程度，通常采用預處理、反滲透技術、高純化處理以及后級處理4大步驟，多級過濾、高性能離子交換（拋光）、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩcm。
制備工業用高純水的工藝流程
電子行業制備超水的工藝大致分成以下幾種：
- 采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
- 采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→軟水器-精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點
- 采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是1種制取超純水的新工藝，也是1種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→軟水器-精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→拋光混床-紫外線殺菌器-終端精密過濾器→用水點
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