多年的顯微鏡開發經驗成就了優異的觀察性能
STM7測量顯微鏡系列采用了當前光學顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學系統。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被*,以確保實現對微小細節的高精度測量。
![]() 明場圖像 | ![]() 暗場圖像 |
![]() 微分干涉圖像 | ![]() 偏光圖像 |
![]() STM7-LFFEM分析 | 為了進一步測量精度,STM7測量顯微鏡系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩定性,使測量可到達亞微米水平,同時確保地降低誤差。 |
![]() 共聚焦自動對焦系統光路 | 隨著現代制造技術日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統的公司,以此響應了這種與日俱增的需求。 |
奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務。

測量顯微鏡跟蹤系統
STM7測量顯微鏡設計注重易用性
提供載物臺以適合眼下的樣本大小
[常見問題]
? 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
? 目前為止,大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費事費時,效率不高。
? 由于可測量的范圍窄,無法將數量較多的樣品排列在載物臺上,以實現一次性同時測量。
[STM7解決方案]
共有四種的正方形測量行程的載物臺可供選用,分別為:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。
? 采用離合器系統可以在粗調和微調之間實現快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動,并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉樣品就實現大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
![]() STM7-CS50 50mm x 50mm | ![]() STM7-CS100 100mm x 100mm |
![]() STM7-CS200 200 mm x 200 mm | ![]() STM7-CS300 300 mm x 300 mm |
[常見問題]
大部分傳統的測量顯微鏡只可以專用測量物鏡或專用金相物鏡,無法同時滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
STM7測量顯微鏡可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡,而更換為物鏡轉盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學系統和測量光學系統同時結合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測量大型樣品還是精細樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對應并協助用戶選擇觀察方法。
測量物鏡
由于測量物鏡具有非常長的工作距離,因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候,無需擔心物鏡與樣品之間發生接觸。此外,借助測量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場。
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可以得到和光學顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場觀察之外還可以對應暗場,偏光和微分干涉觀察。
![]() 明場圖像 | ![]() 暗場圖像 |
STM7測量顯微鏡系列包括手動調焦和電動調焦兩個系列
對于Z軸的上下調焦,有手動型和電動型兩種系列供您選擇。請根據樣品和測量內容選擇符合您需求的機型,而不需要考慮載
物臺的尺寸。所有的鏡架均內置Z軸線性標尺,各種型號STM7都可以對應3軸測量。
![]() 手動Z軸調焦機型 | 手動Z軸調焦機型提供了的成本效益——通過操作被廣泛使用的調焦旋鈕,可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。 |
![]() 電動Z軸調焦機型 | 使用電動調焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調焦的同軸旋鈕設計使使用者可以以習慣的類似手動的方式進行操作,同時電動機型還可以配備自動聚焦單元。 |
[常見問題]
? 增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導致無法率地進行測量。操作時也經常會發生找不到操作單元的情況。
? 增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導致無法率地進行測量。操作時也經常會發生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案]
控制裝置
對于STM7測量顯微鏡系列,只要使用單一的操作裝置能夠執行幾乎所有的測量顯微鏡操作,包括重置計數器、照明控制、調焦和自動聚焦等功能。為了提率和方便性,您可以將裝置放在任何想要放置的位置,并可以輕松地單手操作































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