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Ⅰ－１ 概要
氧氣濃度測定記憶體RCM-O是和RCX-S組合后通過回流爐內的軌道和被測物一起移動，每隔一定時間測定爐
內的氧氣濃度和溫度，記錄了數據的耐熱型記憶體出爐后，通過連接電腦，讀取氧氣濃度，溫度等數據的
系統。
Ⅰ－２ 特點
? 可在加熱狀態下進入回流爐，測定氧氣濃度曲線等的裝置。
? 可以測試實際基板位置上的氧氣濃度便于工藝條件做出以及工藝管理。
? 每個溫區的氧氣濃度以及溫度曲線都在圖標內表示。
Ⅰ－３ 使用環境
本測定器是通過通過回流爐來測定氧濃度和溫度的裝置。記憶儲存器的內部溫度過高，可能會導致IC、電
池等的破裂，使用時請注意。
測定時，記憶儲存器的內部溫度不要超過80℃。
另外，在繼續使用的時候，請充分冷卻記憶體后使用。
（內部溫度超過45°的情況下為保護裝置無法測試）
Ⅰ－４－１ 記憶體
項目 規格
型號 RCX-O ＜氧氣濃度測定用追加記憶體模組＞
測量時間
鎳氫電池 ：約40分
鋰離子電池 ：約80分
取樣時間
0.05秒、0.1秒、0.2秒、0.5秒、1.0秒、2.0秒、4.0秒、8.0秒
可任意設定（與記憶體RCM-S同調）
測定原理 ジルコニア限界電流式
測定范圍 50ppm～5000ppm 或 1000ppm～10000ppm 任選一
氧氣
測定精度
50ppm～1000ppm±5％FS
1000ppm～10000ppm±5％FS
1000ppm～5000ppm±10％FS
電源
由記憶體＜RCM-S>供給
鎳?氫充電池(7號電池(AAA)×3)
或鋰離子電池 ※
外形尺寸
記憶體：(W)50×(D)336×(H)18（㎜）(RCM-S裝配時)
耐熱外殼：(W)65×(D)370×(H)25（㎜）
重量 約950g 不含托架
※ 測定溫度范圍和測量時間為不考慮耐熱性能的時間，不代表能在回流爐內可供測定的時間。
※ 不能使用堿電池和錳電池。
※ 電源購買時請選擇7號電池或鋰離子電池。